高纯气体充装的抽空操作
一、开启真空泵,同时抽空汇流排,负压值≥0.1MPa,继续抽真空15~30min,关闭抽空管道截止阀后,停止真空泵
二、缓慢开启抽空总阀,不要让泵油外溢
三、真空表指示值<-0.1MPa
四、抽空5~15分钟后
五、关闭抽空总阀
六、开启通气阀,不要抽空管路过油
七、关闭真空泵,抽空结束
二、缓慢开启抽空总阀,不要让泵油外溢
三、真空表指示值<-0.1MPa
四、抽空5~15分钟后
五、关闭抽空总阀
六、开启通气阀,不要抽空管路过油
七、关闭真空泵,抽空结束